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简要描述:美国Parker旋转接头/派克材质寿命VacuSeal™是内置金属垫圈的端面密封接头,提供优异的完整性,有效减少泄漏.其适用于需要超高纯度条件的关键应用场合,如半导体的管路配置、阀门阀组集成柜(VMBS)和气体气路分配系统.
美国Parker旋转接头/派克材质寿命
工作原理:
标准材质光洁度是5 RA,其通过材料表面湿法电抛光减少表面颗粒度的同时提供优异的耐腐蚀。接头压盖可选用高纯度镍材质和Hastelloy C-22®哈氏合金材质,以确保在其
腐蚀性应用中的和性。
VacuSeal™是一种内置金属垫圈的端面密封接头,该接头可以提供高的完整性,防止泄漏的有效,使得它们适用于需要超高纯度条件的关键应用场合,例如半导体的管路配置、阀门阀组集成柜(VMBS)和气体气路分配系统。
VacuSeal™接头的特点是需要配合配套的金属密封圈和高光洁度的环面设计,创造了金属对金属的密封形式,提供无泄漏,从真空到9000psi压力范围可用。
技术要求:
VacuSeal™接头设计了安装面为平面,接头压盖与 Verfilo的TorqTite™自动调心面密封垫圈平面安装密封,该连接方式不需要安装工具,并消除了由于热循环和振动造成的部件松动。TorqTite™也了密封,甚在损坏的安装环面上也能有效密封。并且在应用中使用允许扭矩,而不会损坏密封表面。这是VacuSeal™接头螺母,是用超高纯度制造材料制造而成,与接头压盖配合连接,限度地减少了颗粒的产生,并确保了在清洁关重要的晶圆制造操作中的防止泄漏完整性。
VacuSeal™接头的尺寸范围从1/8英寸到1英寸可选,并可选择各种接头本体和接头压盖配置。它们是由Veriflo的低硫含量的Vericlean™材料加工而成,Vericlean™是Veriflo注册商标,它是316L不锈钢在100洁净室中制造而得的特殊材料。
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