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SUNX晶圆定位传感器系列一览

  • 产品型号:HD-T1030
  • 更新时间:2024-05-28

简要描述:SUNX晶圆定位传感器系列一览
反应时间0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率30μm(注2)
直线性±1.0%F.S.(检测位置的检测宽度28mm)(注3)
温度特性±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

产品详情

SUNX晶圆定位传感器系列一览

 结构特点:

虽然使用红色LED作为光源,但仍然具有激光传感器同样的高,因此可实现高精度检测。

无需光轴调整

投、受光部一体型,无需繁琐的光轴调整。并且,检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域,可对应各种不同尺寸的晶圆。

配备系数和偏移量调整功能

模拟输出(1~5V)除了系数调整功能之外,还具备方便的偏移调整功能,可在±0.5V的范围内转换模拟电压。

使用安全的红色LED作为光源,无需任何繁杂的安全措施。

无需使用激光时*的保护罩,在美国使用时不需要符合FDA标准。

使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降低限度,维护轻松。

低消耗电流70mA以下

检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。

适用控制器 HD-T1C

检测宽度 30mm(直线性按照28mm的宽度规定)

检测距离 30mm(固定)(注2)

效果图:




保护构造IP40(IEC)
使用环境温度0~+40℃(注意不可结露),存储时:-20~+55℃
使用环境湿度35~85%RH、存储时:35~85%RH
使用环境照明度白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度3,000lx以下
耐电压AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
缘电阻所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振动频率10~150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击加速度490m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次

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