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简要描述:小金井KOGANEI超精密过滤器如何正确操作使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子少,能立即投入使用液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制,洁净空气、气体压力控制等的高精度设定(感度0.001MPa)。
小金井KOGANEI超精密过滤器如何正确操作
30一体式压力表几乎没有凸出部位,结构紧凑。
并且实现了醒目的指针摆动角度270°的指示范围,提高了可视性
便于操作的把手的形状和大小,把手旋转轻松又顺畅。
此外,把手锁定的分辨率得以提高,从而减轻了把手锁定时设定压力的波动。
可任意更改设定压力范围(绿色部分)。
可自由更改设定范围的上下限,无需拆下前端罩壳(透明树脂部分)或使用工具。
所有尺寸的FRZB过滤器调压阀的托架均实现了化。
采用多孔中空丝膜滤芯,了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
过滤精度高、小型流量大、寿命长
是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
另外,iB-Cyclone与FRZ系列的托架也实现了化。
所有尺寸的FRZB过滤器调压阀,面板安装时的孔径均为φ 28.5mm。
有关自动排水的动作原理,请参阅页的参考资料“自动排水式的动作说明”。
可在排水口的竹节式接头上连接内径为φ 4mm的气管。
请在确认排水口关闭(锁定)之后进行气管的连接作业。
请将连接到排水口竹节式接头上的气管的断面切成直角,然后如下图所示插到底。
另外,安装之后,请轻轻地拉拔气管,确认不会脱落。
请勿使连接到排水口竹节式接头上的气管在竹节式接头附近过度弯曲或进行撬动。
滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的。可以地捕捉0.01μm的微粒子
使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子少,能立即投入使用
液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制,洁净空气、气体压力控制等的高精度设定(感度0.001MPa)。
小金井KOGANEI超精密过滤器如何正确操作